監測2波長(cháng)的等離子發(fā)光量。
實(shí)現了高精度、小型化、低價(jià)格。
輕松實(shí)現蝕刻和清潔的端點(diǎn)的監測。
輕公地進(jìn)行蝕刻、清潔的等離子發(fā)光的監測。
通過(guò)用過(guò)濾方式檢測2波長(cháng),實(shí)現小型化、低價(jià)格ZEN-10C1AR-A-V2手冊。噴嘴間隙用。
光學(xué)系統:正反射型。
檢測距離:10正負0.5mm。
光束形狀:線(xiàn)光束
ZEN-10C1AR-A-V2
光束直徑:900mm×25μm。
分辨率:0.25μm。
電纜長(cháng)度:2m。單位:CPU單元。
名稱(chēng):經(jīng)濟型(無(wú)法連接擴展I/O單元)。
I/O點(diǎn)數:20點(diǎn)。
LCD顯示器:是。
電源電壓:AC100~240V。
輸入:12點(diǎn),AC100~240VZEN-10C1AR-A-V2手冊。
繼電器輸出:8點(diǎn)。
按鈕、日歷和時(shí)鐘:是。
模擬量輸入:否。
使用增強功能和更高精確度,應用范圍更廣
纖巧本體(70mm寬×90mm高)中的增強功能。
使用LCD和操作按鈕可進(jìn)行簡(jiǎn)單編程。
此單個(gè)單元輕松提供繼電器、定時(shí)器、計數器和時(shí)間切換功能。
使用擴展I/O單元可輕松擴展,最多允許44點(diǎn)I/OZEN-10C1AR-A-V2手冊。
系列中還新增了經(jīng)濟型和通信型CPU單元。
每周定時(shí)器得以提高定時(shí)確度得以增強,每月偏差不超過(guò)正負15s。
還新增了多日操作和脈沖輸出操作。
從以下兩個(gè)電源選件中選?。篈C100~240V或DC12~24V。品名:傳感頭部(電纜長(cháng)度:10m)歐姆龍可編程繼電器手冊。
高精度測量清潔室及工作間的內外壓差。
超大量程高精度測量。
搭載SD卡插口。
利用LAN端口連接,可簡(jiǎn)單地建立監視系統。
配備可將記錄數據簡(jiǎn)單圖形化的PC軟件。
用環(huán)境可視化軟件 (可選件),可實(shí)時(shí)以波形、
平面圖的形式顯示檢測數據。分類(lèi):防滴型,標準型。
接點(diǎn)間隔:G (0.5mm)。
防滴端子保護蓋:無(wú)歐姆龍可編程繼電器手冊。
驅動(dòng)桿:滾珠板簧型。
端子的種類(lèi):焊接端子。
以高精度和豐富品種著(zhù)稱(chēng)最暢銷(xiāo)的基本型開(kāi)關(guān)。
斷路容量達15A,且精度高。
備有微動(dòng)開(kāi)關(guān)的基本型,根據用途不同,
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種歐姆龍可編程繼電器手冊。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全,
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。分類(lèi):防滴型,標準型。
接點(diǎn)間隔:G (0.5mm)。
防滴端子保護蓋:無(wú)。
驅動(dòng)桿:長(cháng)擺桿型。
端子的種類(lèi):焊接端端子ZEN-10C1AR-A-V2編程手冊。
以高精度和豐富品種著(zhù)稱(chēng)最暢銷(xiāo)的基本型開(kāi)關(guān)。
斷路容量達155A,且精度高ZEN-10C1AR-A-V2手冊。
備有微動(dòng)開(kāi)關(guān)的基本型,根據用途不同,
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全,
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。